電子行業(yè)生產(chǎn)工藝有抗靜電、抗微振的要求,并且大宗氣體和特種氣體種類多,對(duì)純度和潔凈度要求高。因此整個(gè)工程建設(shè)要根據(jù)需求合理設(shè)計(jì)潔凈度等級(jí)、溫濕度、防微振、防靜電等從技術(shù)、工藝、能耗等方面規(guī)劃建設(shè)。
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